CAS No. :: | 685-63-2 | D'autres noms :: | 1,1,2,3,4,4-hexafluorbuta-1,3-dieen |
---|---|---|---|
Classe de risque: | 2.3 | Point d'origine :: | Hubei |
Pureté :: | 99,95% | Application :: | plasma basé sur fluorocarbone gravant à l'eau-forte le |
Paquet :: | suffisance de cylindre de client | Volume de cylindres :: | 50L |
Surligner: | Gaz électrique,pureté plus des gaz de spécialité |
Grande pureté C4F6 gas99.995%, utilisation en gravure à l'eau-forte basée sur fluorocarbone de plasma
Description :
Gaz graver à l'eau-forte HFB, C4F6 sèche qu'il a développé en Russie. C4F6 permet gravure à l'eau-forte sèche à une ligne largeur aussi d'étroit que 90 nanomètre ou moins. Il est donc indispensable pour le système de traitement LSIs et les blocs de mémoires ultra-rapides et de grande capacité qui sont de plus en plus utilisés dans les appareils électriques numériques et les affichages à cristaux liquides.
Les gaz de fluorocarbone sont très utilisés pour traiter le silicium à pellicule d'oxyde. Comparé à l'octafluorocyclobutane (C4F8) actuellement utilisé pour traiter à la ligne largeur de 130 nanomètre, C4F6 a les avantages suivants :
allongement 1.High, ayant pour résultat les cannelures étroites et profondes (appropriées au traitement à ligne largeur très étroite)
sélectivité 2.High (assure gravure à l'eau-forte de silicium à pellicule d'oxyde seulement ; n'affecte pas le vernis photosensible, le substrat de silicium ou le film de nitrure)
CONTRE L'INCENDIE LES MESURES DE LUTTE
POINT D'INFLAMMABILITÉ | AUCUNE DONNÉES DISPONIBLES. |
MÉDIAS S'ÉTEIGNANTS | APPROPRIÉ : LE JET D'EAU, SÉCHEZ LA MOUSSE, DIOXYDE DE CARBONE. |
LUTTE CONTRE L'INCENDIE | ÉQUIPEMENT DE PROTECTION : PORTEZ LE RESPIRATEUR PORTABLE ET LES VÊTEMENTS DE PROTECTION POUR EMPÊCHER LE CONTACT AVEC LA PEAU ET LES YEUX. RISQUES SPÉCIFIQUES : ÉMET LES VAPEURS TOXIQUES DANS DES ÉTATS DU FEU. LES CYLINDRES PEUVENT SE ROMPRE DANS DES ÉTATS DU FEU. REFROIDISSEZ TOUS LES CONTENEURS AFFECTÉS AVEC INONDER DES QUANTITÉS DE L'EAU. |
MESURES DE PREMIERS SECOURS
EXPOSITION D'INHALATION | SI INHALÉ, ENLEVEZ EXPOSÉ À L'AIR FRAIS. SI LA RESPIRATION EST DIFFICILE, APPELEZ UN MÉDECIN IMMÉDIATEMENT. |
EXPOSITION CUTANÉE | EN CAS D'EXPOSITION, LAVEZ IMMÉDIATEMENT LA PEAU AVEC DU SAVON ET DES QUANTITÉS COPIEUSES DE L'EAU. APPELEZ UN MÉDECIN IMMÉDIATEMENT. |
EXPOSITION D'OEIL | EN CAS DE CONTACT AVEC DES YEUX, FLUX AVEC DES QUANTITÉS COPIEUSES DE L'EAU PENDANT AU MOINS 15 MINUTES. ASSUREZ À RINÇAGE APPROPRIÉ EN SÉPARANT LES PAUPIÈRES AVEC DES DOIGTS. APPELEZ UN MÉDECIN IMMÉDIATEMENT. |
EXPOSITION ORALE | PAS UN ITINÉRAIRE NORMAL D'ENTRÉE. SI AVALÉ, EFFACEZ LA BOUCHE AVEC DE L'EAU SI LA PERSONNE EST CONSCIENTE. APPELEZ UN MÉDECIN. |
Applications :
1.C4F6 peut employer en tant que gaz filmogènes organométalliques,
2. Le gaz de HFB (C4F6) peut employer comme produits d'épuration, gaz d'échappement traitant des épurateurs