Halocarbure 116 de CAS 76-16-4

CAS 76164 gaz électroniques de l'halocarbure C2F6 du fluorocarbone 116 avec le cylindre pour Etchant à la fabrication de semi-conducteur

Description :

Hexafluoroethane est employé en tant qu'etchant souple à la fabrication de semi-conducteur. Il peut être employé pour gravure à l'eau-forte sélective des siliciures et des oxydes en métal contre leurs substrats en métal et également pour graver à l'eau-forte du silice au-dessus du silicium. L'aluminium primaire et les industries de semi-conducteur sont les émetteurs principaux du hexafluoroethane.

Hexafluoroethane est relativement inerte. Le mélange est inflammable et non-toxique, bien que l'asphyxie puisse se produire en raison du déplacement de l'oxygène. Sous l'exposition prolongée à mettre le feu ou la forte chaleur les conteneurs peuvent se rompre violemment et fusée.

Hexafluoroethane est chimiquement inerte dans beaucoup de situations, mais peut réagir violemment avec les agents réducteurs forts tels que les métaux très actifs et les métaux actifs. Peut réagir avec les oxydants forts ou les oxydants plus faibles sous des extrémités de la température.

Les vapeurs peuvent causer des vertiges ou l'asphyxie sans avertissement. Les vapeurs du gaz liquéfié sont au commencement plus lourdes que l'air et la diffusion le long de la terre. Le contact avec le gaz ou le gaz liquéfié peut causer des brûlures, la blessure grave et/ou la gelure. Le feu peut produire les gaz irritants, corrosifs et/ou toxiques.

Certains peuvent brûler mais aucun mettre à feu aisément. Les conteneurs peuvent éclater une fois de chauffage. Les cylindres rompus peuvent monter en flèche.

Caractéristiques :

1. Propriétés physiques

2. données techniques typiques

Applications :