Lieu d'origine: | La Chine |
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Nom de marque: | Newradar Gas |
Certification: | ISO/DOT/GB |
Numéro de modèle: | NON-DÉTERMINÉ |
Quantité de commande min: | PCs 1 |
Prix: | Négociable |
Détails d'emballage: | Emballé dans le cylindre 10L-500L ou emballé selon les exigences. |
Délai de livraison: | 10-20 jours ouvrables ont ensuite reçu votre paiement |
Conditions de paiement: | L/C, T/T, Western Union, MoneyGram |
Capacité d'approvisionnement: | PCS 1000 par mois |
nom de produit: | Trifluorure d'azote | DENSITÉ: | 3,003 kg/m3 (°C) de 1h du matin 15 |
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Odeur: | Moisi | Aspect :: | Gaz sans couleur |
Application: | Gravure à l'eau-forte de plasma des gaufrettes de silicium | EINECS non.: | 232-007-1 |
Point de fusion: | °C −207.15 | Point d'ébullition: | °C −129.06 |
Mettre en évidence: | gaz d'électrons,pureté plus des gaz de spécialité |
Trifluorure d'azote NF3, 99.99~99.999%, utilisés en gravure à l'eau-forte de plasma des gaufrettes de silicium
Description :
Le trifluorure d'azote (NF3) est un nouveau gaz spécial pour l'industrie électronique en tant que gaz de nettoyage pour le nettoyage et gravure à l'eau-forte de plasma, très utilisé dans TFT LCD, le semi-conducteur et l'industrie solaire etc. de photoélectricité, ayant des avantages sans vitesse de nettoyage remaing et élevée et facile à se décomposer.
Basé sur mûrement l'électrolyse et la technologie de production de fluorures, par la R&D continue pendant plusieurs année, la société a réalisé des plusieurs technologie de produion avancée dans le monde. Depuis 2009 LRICI a été stable un fournisseur avec la réputation élevée du gaz des produits NF3 d'électronique-catégorie aux clients domestiques et aux clients du Japon, Taïwan, de Corée du Sud etc. La société maintenant a la capacité de 1000 t/a et peut pousser Spéc. doucement de 99,999%, la production d'écu encore plus NF3 sans interruption et stablement.
Caractéristiques :
1. Propriétés physiques
Nom de produit | Trifluorure d'azote |
Formule moléculaire | NF3 |
L'ONU non. | L'ONU 2451 |
CAS No. | 7783-54-2 |
EINECS non. | 232-007-1 |
2. données techniques typiques
Impuretés | NF3≥99.995% Vol.% | NF3≥99.99% Vol.% | NF3≥99.98% Vol.% | NF3≥99.9% Vol.% |
CF4 | ≤20 Vol.ppm | ≤40 Vol.ppm | ≤100 Vol.ppm | ≤500 Vol.ppm |
N2 | ≤5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
O2+Ar | ≤3 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
CO2 | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
H2O | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
À haute fréquence | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm | ≤1 Vol.ppm |
SF6 | ≤1 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤25 Vol.ppm |
N2O | ≤1 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
Co | ≤0.5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
3. Paquet
Cylindre en acier sans couture de tonne des cylindres 3AA/GB5099 de POINT
L'information de cylindres | Cylindre individuel (47L) | Paquet | Cylindre de Y | Tube d'OIN |
Matériel | Acier de manganèse (316L) | Acier Cr-MOIS | ||
Type de connexion de valve | CGA 330 CGS/DISS 640 | DISS 640 etc. | ||
Type | DOT-3AA GB5099 | 47L*16/47L*25 | 20ft : 40ft | |
Pression | 9-13Mpa | |||
Poids remplissant | 20/22.7kg | 195/200 |
Applications :
Le trifluorure d'azote (NF3) a été très utilisé dans l'industrie électronique, le semi-conducteur et l'industrie solaire etc. de photoélectricité que c'est bonne gravure à l'eau-forte et un gaz de nettoyage avec des avantages sans restant, la vitesse de nettoyage élevée et facile à se décomposer.