Lieu d'origine: | La Chine |
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Nom de marque: | Newradar Gas |
Certification: | ISO/DOT/GB |
Numéro de modèle: | NON-DÉTERMINÉ |
Quantité de commande min: | PCs 1 |
Prix: | Négociable |
Détails d'emballage: | Emballé dans le cylindre 10L-500L ou emballé selon les exigences. |
Délai de livraison: | 10-20 jours ouvrables ont ensuite reçu votre paiement |
Conditions de paiement: | L/C, T/T, Western Union, MoneyGram |
Capacité d'approvisionnement: | PCS 1000 par mois |
nom de produit: | Trifluorure d'azote | Pureté: | 99,99% à 99,999% |
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La masse molaire: | 71,00 g/mol | Aspect: | Gaz sans couleur |
CAS No.: | 7783-54-2 | EINECS non.: | 232-007-1 |
Point de fusion: | °C −207.15 | Point d'ébullition: | °C −129.06 |
Mettre en évidence: | Gaz électrique,gaz d'électrons |
NF3, gaz liquide, trifluorure d'azote, 99.99~99.999%, emballés dans 10L aux cylindres 500L
Description :
Le trifluorure d'azote est le composé inorganique avec la formule NF3. Ce composé d'azote-fluor est un gaz sans couleur, inodore, inflammable. Il trouve l'utilisation croissante en tant qu'etchant dans la microélectronique.
Le trifluorure d'azote est le composé inorganique avec la formule NF3. Ce composé d'azote-fluor est un gaz sans couleur, inodore, inflammable. Il trouve l'utilisation croissante en tant qu'etchant dans la microélectronique.
Le trifluorure d'azote est employé dans gravure à l'eau-forte de plasma des gaufrettes de silicium. Aujourd'hui le trifluorure d'azote est principalement utilisé dans le nettoyage des chambres de PECVD dans la production à fort débit des affichages à cristaux liquides et des piles solaires en couche mince basées sur silicium. Dans ces applications NF3 est au commencement décomposé in situ par un plasma.
Caractéristiques :
1. Propriétés physiques
Nom de produit | Trifluorure d'azote |
Formule moléculaire | NF3 |
L'ONU non. | L'ONU 2451 |
CAS No. | 7783-54-2 |
EINECS non. | 232-007-1 |
2. données techniques typiques
Article | Unité | Indexez | |
NF3 | ≥ de Vol.% | 99,995 | 99,99 |
CF4 | ≤ de Vol.% | ≤20 | ≤40 |
N2 | ≤ de Vol.% | ≤5 | ≤10 |
O2+Ar | ≤ de Vol.% | ≤3 | ≤5 |
Co | ≤ de Vol.% | ≤1 | ≤5 |
CO2 | ≤ de Vol.% | ≤1 | ≤5 |
N2O | ≤ de Vol.% | ≤1 | ≤5 |
SF6 | ≤ de Vol.% | ≤2 | ≤5 |
H2O | ≤ de Vol.% | ≤3 | ≤1 |
3. Paquet
Cylindre en acier sans couture de tonne des cylindres 3AA/GB5099 de POINT
Applications :
Le trifluorure d'azote (NF3) a été très utilisé dans l'industrie électronique, le semi-conducteur et l'industrie solaire etc. de photoélectricité que c'est bonne gravure à l'eau-forte et un gaz de nettoyage avec des avantages sans restant, la vitesse de nettoyage élevée et facile à se décomposer.