Le laser d'excimère intoxique le gaz halogène au néon de mélanges de krypton électrique

Le laser d'excimère intoxique le gaz halogène au néon de mélanges de krypton électrique

Description :

Des mélanges au néon de krypton sont employés dans 248 applications de lithographie de nanomètre, habituellement en même temps qu'a
mélange de gaz halogène.

Des lasers hélium-néon (de HeNe) peuvent être faits pour osciller à plus de 160 longueurs d'onde différentes en ajustant la cavité Q pour faire une pointe à la longueur d'onde désirée. Ceci peut être fait en ajustant la réponse spectrale des miroirs ou à l'aide d'un élément dispersif (prisme de Littrow) dans la cavité. Les unités fonctionnant à 633 nanomètre sont très communes dans les écoles et les laboratoires en raison de leur coût bas et s'approcher des qualités parfaites de poutre.

Les lasers à azote à azote fonctionnent dans la gamme ultra-violette, en général 337,1 nanomètre, utilisant l'azote moléculaire en tant que son milieu de gain, pompé par une décharge électrique.

Caractéristiques :

1. Propriétés physiques

2. données techniques typiques (COA)

3. Paquet

Applications :

Des mélanges au néon de krypton sont employés dans 248 applications de lithographie de nanomètre, habituellement en même temps qu'a
mélange de gaz halogène.