Détail Infomation

Application:	processus de la lithographie 248nm et mélangé à de l'halogène utilisant les gaz mélangés	CAS No.:	7439-90-9
L'ONU aucun:	1982	Pureté ::	99,999%
Paquet ::	cylindres en acier sans couture	D'autres noms:	Mélange de tétrafluorure de carbone de l'oxygène
Aspect ::	Gaz sans couleur	Volume de cylindres ::	10L, 25L, 40L ou 50L
Norme de catégorie:	Catégorie de catégorie d'électron	Toxique:	Non-toxique
Surligner:	gaz de spécialité de produits d'air , gaz de spécialité de liquide d'air

Description de produit

L'oxygène 1982 des mélanges 20% de gaz de spécialité de l'ONU avec du tétrafluorure de carbone

Description :

Mélanges de gaz de spécialité

Le tétrafluorure de carbone est une source des radicaux libres de fluorure de fluor ou de carbone utilisés dans un grand choix d'etchprocesses de gaufrette. Le tétrafluorure de carbone est employé avec l'oxygène pour graver à l'eau-forte le polysilicium, le silice, et le nitrure de silicium.

Le tétrafluorure de carbone est relativement inerte dans des conditions normales et est un agent asphxyiant. Dans des états de plasma de rf, les radicaux libres de fluor sont typiquement sous forme de CF3

ou CF2. Résultats d'un CarbonTetrafluoride de plus grande pureté dans le contrôle supérieur du processus, qui a comme conséquence un meilleur contrôle dimensionnel et de profil.

D'autres halocarbures, aussi bien que la présence d'air ou d'oxygène, portent préjudice au contrôle gravure à l'eau forte anisotrope.

Caractéristiques :

1. Propriétés physiques

Major Components
COMPOSANTS	CONCENTRATION	GAMME
O2	20 %	19.9-20.1%
CF4	Équilibre

2. données techniques typiques (COA)

Impuretés maximum
COMPOSANTS	CONCENTRATION (page par minute)
Dioxyde de carbone (CO2)	<1>
Oxyde de carbone (Co)	<1>
Humidité (H2O)	<0>
Azote (N2)	<10>
L'oxygène (O2)	<5>
THC (comme méthane) (CH4)	<0>
D'autres halocarbures	<1>
Hexafluorure de soufre	<1>

Cylindre Specifications*			Contenu	Pression
Cylindre	Options de débouché de valve		Livres	Psig	BARRE
2	CGA 580	DISS 716	70	2000	139

L'oxygène 1982 des mélanges 20% de gaz de spécialité de l'ONU avec du tétrafluorure de carbone 0

Applications :

Tetrafluoromethane est parfois employé comme réfrigérant de basse température.

Il est employé dans seul le microfabrication de l'électronique ou en combination avec l'oxygène comme plasma etchant pour le silicium, le silice, et le nitrure de silicium.

Il a également des utilisations dans des détecteurs de neutrons

Produit Tag:

Lieu d'origine:	La Chine
Nom de marque:	Newradar Gas
Certification:	ISO/DOT/GB
Numéro de modèle:	NON-DÉTERMINÉ

Quantité de commande min:	1000 litres
Prix:	negotiation
Détails d'emballage:	10kg, 40kg ou 50kg emballés dans le cylindre de gaz qualifié ou emballés selon les exigences
Délai de livraison:	15-25 jours ouvrables ont ensuite reçu votre paiement
Conditions de paiement:	L/C, T/T, Western Union, MoneyGram
Capacité d'approvisionnement:	mètre cube 3,00 par mois

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