Gaz sans couleur de laser d'excimère

Mélanges des prix d'ArF de fluorure d'argon de gaz de laser d'excimère emballés dans 1L - cylindres 50L

Description :

Un laser de fluorure d'argon absorbe l'énergie d'une source, faisant réagir le gaz d'argon avec le gaz de fluor produisant le monofluoride d'argon, un complexe provisoire, dans un état d'énergie enthousiaste :
2 AR + F2 → 2 ArF

Le complexe peut subir l'émission spontanée ou stimulée, ramenant son état d'énergie à un état fondamental métastable, mais fortement répulsif. Le complexe d'état fondamental dissocie rapidement dans les atomes non liés :
→ 2 de 2 ArF l'AR + le F2

Le résultat est un laser d'exciplex qui rayonne l'énergie à 193 nanomètre, qui se situe dans la partie ultra-violette lointaine du spectre, correspondant à la différence d'énergie de 6,4 volts d'électron entre l'état fondamental et l'état enthousiaste du complexe.

La lumière émise par l'ArF est invisible à l'oeil humain, ainsi les mesures de sécurité supplémentaires sont nécessaires en travaillant avec ce laser pour éviter les poutres égarées. Les gants sont nécessaires pour protéger la chair contre les propriétés potentiallycarcinogenic de la poutre UV, et les lunettes UV sont nécessaires pour protéger les yeux.

Caractéristiques :

1. Propriétés physiques

2. données techniques typiques (COA)

3. Paquet

Applications :

Des mélanges de fluorure d'argon sont employés dans 193 applications de lithographie de nanomètre, habituellement en même temps qu'un mélange de gaz inerte.