le laser d'excimère de lithographie de 248 nanomètre intoxique des mélanges de gaz de néon de krypton

le laser d'excimère de lithographie de 248 nanomètre intoxique des mélanges de gaz de néon de krypton

Description :

Des mélanges au néon de krypton sont employés dans 248 applications de lithographie de nanomètre, habituellement en même temps qu'a
mélange de gaz halogène.

Un laser à gaz est un laser en lequel un courant électrique est déchargé par un gaz pour produire la lumière logique. Le laser à gaz était le premier laser de continu-lumière et le premier laser pour opérer le principe de convertir l'énergie électrique en rendement lumineux de laser. Le premier laser à gaz, le laser hélium-néon (HeNe), Co-a été inventé par le physicien Ali Javan d'Iranien-Azerbaïdjanais et le physicien américain William R. Bennett, Jr. en 1960. Il a produit un faisceau lumineux logique dans la région infrarouge du spectre à 1,15 micromètres.

Des lasers à gaz utilisant beaucoup de gaz ont été construits et utilisés pour beaucoup de buts.

Caractéristiques :

1. Propriétés physiques

2. données techniques typiques (COA)

3. Paquet

Applications :

Des mélanges au néon de krypton sont employés dans 248 applications de lithographie de nanomètre, habituellement en même temps qu'a
mélange de gaz halogène.