Gaz électroniques sans couleur de la pureté NF3 99.99~99.999% avec l'odeur moisie, point d'ébullition du °C −129.06

NF3, gaz liquide, trifluorure d'azote, 99.99~99.999%, utilisés dans l'industrie électronique

Description :

Le trifluorure d'azote (NF3) est un gaz sans couleur et stable aux conditions ambiantes. Le gaz est incombustible mais peut soutenir la combustion. Quand la température est au-dessus de 350℃, le gaz se décomposera lentement pour produire le fluor de l'oxydation forte et donc, c'est un oxydant fort à température élevée.

Les atomes en résultant de fluor sont les produits d'épuration actifs qui attaquent le polysilicium, le nitrure de silicium et l'oxyde de silicium. Le trifluorure d'azote peut être aussi bien employé avec du siliciure de tungstène, et le tungstène produit par CVD.

NF3 a été considéré en tant qu'un substitut dans l'environnement préférable pour l'hexafluorure de soufre ou perfluorocarbons tels que le hexafluoroethane. L'utilisation de processus des produits chimiques appliqués dans des processus de plasma est typiquement en-dessous de 20%. Par conséquent une partie du PFCs et également une partie toujours de l'évasion NF3 dans l'atmosphère. Les systèmes modernes de réduction de gaz peuvent diminuer de telles émissions.

Caractéristiques :

1. Propriétés physiques

2. données techniques typiques

3. Paquet

Cylindre en acier sans couture de tonne des cylindres 3AA/GB5099 de POINT

Applications :

Le trifluorure d'azote (NF3) a été très utilisé dans l'industrie électronique, le semi-conducteur et l'industrie solaire etc. de photoélectricité que c'est bonne gravure à l'eau-forte et un gaz de nettoyage avec des avantages sans restant, la vitesse de nettoyage élevée et facile à se décomposer.