Chimie électronique de gaz de Hexafluorobutadiene C4F6 pour gravure à l'eau forte diélectrique critique

Chimie de gaz de Hexafluorobutadiene C4F6 pour des applications diélectriques critiques gravure à l'eau forte.

Description :

C4F6 est un fluorocarbone insaturé avec un lien double alternatif. C'est un gaz sans couleur, inodore, toxique, inflammable montrant la performance très haute pour le plasma, faisceau d'ions, ou pulvérisez gravure à l'eau-forte dans des dispositifs de semi-conducteur fabriquant avec du xénon (Xe) et l'argon (AR) comme transporteur ou gaz de dilution. En raison de la vie atmosphérique courte (< 1day="">

Le butadine du ‐ Hexafluoro1,3 est un gaz comprimé liquéfié toxique, sans couleur, inodore, inflammable.

Le gaz C4F6 comme gaz etchant pour gravure à l'eau-forte élevée de trou de contact d'allongement peut être un bon

alternative aux gaz de PFC.

STABILITÉ ET RÉACTIVITÉ

Applications :

1. Le gaz de HFB (C4F6) peut employer comme produits d'épuration, gaz d'échappement traitant des épurateurs

2. Composants de gaz de Hexafluoro-2-butyne pour le matériel de transmissions de fibre optique.

3. Il est donc indispensable pour le système de traitement LSIs et les blocs de mémoires ultra-rapides et de grande capacité qui sont de plus en plus utilisés dans les appareils électriques numériques et les affichages à cristaux liquides.