Détails sur le produit:
Conditions de paiement et expédition:
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Nom du produit: | Approprié | Apparence: | GAZ SANS COULEUR |
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La masse molaire: | 117,17 g/mol | Forme moléculaire: | Tétraédrique |
Densité: | 3,3 kg/m3 | EINECS No.: | 231-961-6 |
Pression de vapeur: | >1 atmosphère | Autres Noms: | Germanomethane |
10% approprié et mélanges de gaz d'hydrogène dans l'utilisation des cylindres 49L dans l'industrie de semi-conducteur
Description :
Le gaz se décompose près de 600K en germanium et hydrogène. En raison de sa labilité thermique, appropriée est employé dans l'industrie de semi-conducteur pour la croissance épitaxiale du germanium par MOVPE ou épitaxie chimique de poutre. Des précurseurs d'Organogermanium (par exemple isobutylgermane, trichlorures d'alkylgermanium, et trichlorure d'imethylaminogermanium) ont été examinés en tant que solutions de rechange liquides moins dangereuses à approprié pour le dépôt des films GE-contenants par MOVPE.
Caractéristiques :
1. Propriétés physiques
Nom de produit | Approprié |
Formule moléculaire | GeH4 |
L'ONU non. | L'ONU 2192 |
CAS non. | 7782-65-2 |
EINECS non. | 231-961-6 |
2. Données techniques typiques (COA)
Composant | Spécifications |
APPROPRIÉ | ≥99.999% |
Dioxyde de carbone | <2> |
Oxyde de carbone | <1> |
Digermane | <20> |
Azote | <2> |
Hydrogène | <50> |
L'argon d'Oxygen+ | <0> |
THC (comme méthane) | <1> |
Trigername | <2> |
3. Détails d'emballage :
Taille de cylindre
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Dimension de cylindre
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Connexion
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Contenu
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49L
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23cm*1420cm approximativement.
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CGA632
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Filet : 1.5kg
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4. Applications :
Le trifluorure d'azote (NF3) a été très utilisé dans l'industrie électronique, le semi-conducteur et l'industrie solaire etc. de photoélectricité que c'est un bon gaz de gravure à l'eau-forte et de nettoyage avec des avantages sans rester, la vitesse élevée de nettoyage et facile à se décomposer.