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Mélanges sans couleur de gaz de spécialité

Informations de base
Lieu d'origine: La Chine
Nom de marque: Newradar Gas
Certification: ISO/DOT/GB
Numéro de modèle: NON-DÉTERMINÉ
Quantité de commande min: 1000 litres
Prix: negotiation
Détails d'emballage: 10kg, 40kg ou 50kg emballés dans le cylindre de gaz qualifié ou emballés selon les exigences
Délai de livraison: 15-25 jours ouvrables ont ensuite reçu votre paiement
Conditions de paiement: L/C, T/T, Western Union, MoneyGram
Capacité d'approvisionnement: mètre cube 3,00 par mois
Détail Infomation
CAS No.: 7439-90-9 L'ONU aucun: 1982
Pureté :: 99,999% Paquet :: cylindres en acier sans couture
D'autres noms: Mélange de tétrafluorure de carbone de l'oxygène Aspect :: Gaz sans couleur
Volume de cylindres :: 10L, 25L, 40L ou 50L Norme de catégorie: Catégorie de catégorie d'électron
Toxique: Non-toxique Application: processus de la lithographie 248nm et mélangé à de l'halogène utilisant les gaz mélangés
Surligner:

gaz de spécialité de produits d'air

,

gaz de spécialité de liquide d'air


Description de produit

L'oxygène des mélanges 20% de gaz de spécialité avec de l'O2 du tétrafluorure CF4 Mixted de carbone pour le polysilicium gravure à l'eau forte, et silice

 

Description :

 

Mélanges de gaz de spécialité

 

Le tétrafluorure de carbone est une source des radicaux libres de fluorure de fluor ou de carbone utilisés dans un grand choix d'etchprocesses de gaufrette. Le tétrafluorure de carbone est employé avec l'oxygène pour graver à l'eau-forte le polysilicium, le silice, et le nitrure de silicium.

 

Le tétrafluorure de carbone est relativement inerte dans des conditions normales et est un agent asphxyiant. Dans des états de plasma de rf, les radicaux libres de fluor sont typiquement sous forme de CF3

ou CF2. Résultats d'un CarbonTetrafluoride de plus grande pureté dans le contrôle supérieur du processus, qui a comme conséquence un meilleur contrôle dimensionnel et de profil.

 

D'autres halocarbures, aussi bien que la présence d'air ou d'oxygène, portent préjudice au contrôle gravure à l'eau forte anisotrope.

 

Caractéristiques :

 

1. Propriétés physiques

 

Major Components
COMPOSANTS CONCENTRATION GAMME
O2 20 % 19.9-20.1%
CF4 Équilibre  

 

 

 

 

 

 

2. données techniques typiques (COA)

 

Impuretés maximum
COMPOSANTS CONCENTRATION (page par minute)
Dioxyde de carbone (CO2) <1>
Oxyde de carbone (Co) <1>
Humidité (H2O) <0>
Azote (N2) <10>
L'oxygène (O2) <5>
THC (comme méthane) (CH4) <0>
D'autres halocarbures <1>
Hexafluorure de soufre <1>

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Cylindre Specifications* Contenu Pression
Cylindre Options de débouché de valve Livres Psig BARRE
2 CGA 580 DISS 716 70 2000 139

 

 

 

 

Mélanges sans couleur de gaz de spécialité 0

Applications :

 

1

 Tetrafluoromethane est parfois employé comme réfrigérant de basse température.

 

2

 Il est employé dans seul le microfabrication de l'électronique ou en combination avec l'oxygène comme plasma etchant pour le silicium, le silice, et le nitrure de silicium.

 

3

 Il a également des utilisations dans des détecteurs de neutrons

 

 

Coordonnées
Vicky Liu

Numéro de téléphone : 86-27-82653381

WhatsApp : +8613667126861